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机械位移平台

产品详情
VAG系列运动平台是XiviTech持续多年在很好材料、特有加工技术、精密结构分析与设计领域不断投入后,专门为帮助当今半导体工业设备制造业实现高精度、高产出率目标而研发的系列平台。高自主知识产权及精英的研发团队,能确保我们的企业在迎接未来挑战时,始终保持领先的技术能力。VAG系列运动平台,非常能满足在电子及半导体加工、检测行业极具挑战的严苛要求。
产品参数

VAG的优点:
1、扫描速度快
2、整定时间小
3、线性编码器反馈
4、全气浮及真空预载
Travel Scan Axis 350 mm , 500 mm,
Step Axis 350 mm , 500 mm
Drive System Linear Brushless Motor                  
Resolution 0.25 nm
Accuracy ±300 nm
Repeatability(choose linear driver) ±100 nm (±50 nm)
XYZ Position Stability(Air On) 20 nm
Granite Bass Thickness 250 mm
Rated Payload(Maintaining Dynamic Specifications) 5 kg
Maximum Payload 25 kg
Maximum Velocity with Rated Payload Scan & Step Axis  1000 mm/s
Peak Acceleration with Rated Payload Scan & Step Axis 2 G (20 m/s2)
RMS Acceleration with Rated Load Scan & Step Axis 1 G (10 m/s2)
Stiffness,First Natural Frequency with Rated Payload >100 Hz
Pitch 2 arc sec
Roll 2 arc sec
Yaw 2 arc sec
XY straightness 1 um
XY Flatness 1.2 um
XY Orthogonality <2 arc sec
Velocity ripple( sampled at 400mm/s) 0.1 %
MTBF 40,000 hours